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LCD 장비

  • HDC고집적 세정장비
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  • Wet Etcher 습식 식각장비
  • Wet Stripper 감광액 박리장비
  • Coater 감광액 도포장비

HDC (High Density Cleaner : 고집적 세정장비)

hdc

개요
HDC는 TFT-LCD 주요 공정에서 유리기판을 세정하는 공정장비로서, 제품 수율 향상에 효과가 매우 큽니다.
특징
Compact size & Simple design : 작고 단순한 구조로 공간활용도가 높습니다.
No detergent : 세정제를 사용하지 않아 친환경적입니다.
Enhanced cleaning system : 우수한 세정력으로 수율 향상에 기여합니다.