제품소개LCD 장비

LCD 장비

  • HDC고집적 세정장비
  • Developer 현상장비
  • Wet Etcher 습식 식각장비
  • Wet Stripper 감광액 박리장비
  • Coater 감광액 도포장비

도포장비는 TFT-LCD 제조 공정 중 사진과 같은 기술을 이용한 Photolithography Process에 있어서 유리기판 위에 감광액(Photo resist)을 코팅하는 장비입니다. 감광액이란 원하는 부분의 금속막이 녹지 않도록 일종의 보호막 형태로 금속막 위에 만들어지는 유기물을 말합니다.
Compact size : 작고 단순한 구조로 공간활용도가 높습니다.
Less tact time : 코팅 시간이 단축되어 생산성이 향상됩니다.